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VCSEL 生产测试系统

脉冲 VCSEL 的完整特性测定

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系统介绍

系统配置

测量应用

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系统配置

测量应用

用于 VCSEL 工序间检验的坚固的完整系统

在选择测量系统时，镭射二极体/VCSEL 的工序间检验要求具有较高的精度和稳定性。可靠精确地测量光学特性和时序脉冲性能是在生产过程中，对镭射二极体实现可再现特性测定和分类的前提条件。

基于 CAS 系列光谱仪的高解析度版本，除 VCSEL 实验室测量站实验室测量站之外，Instrument Systems 还提供了多个针对在生产中进行 VCSEL 特性测定而优化调节的完整解决方案，包括 PVT 200，它包含专用于对纳秒级脉冲实施时间分辨测量的测量系统。

Instrument Systems 测量解决方案的模组化设置和 CAS-HR 系列（CAS 140CT-HR、CAS 120-HR）的出色光谱解析度支持各种应用。集成可追溯、绝对校准光电二极体后，辐射通量作为直接被测变数输出，这对确保测量精度至关重要。

此外，还可集成直视快速光电二极体，用于测量单个脉冲或完整脉冲序列的轨迹。这需要额外驱动器和千兆赫运行范围的读出电子装置。

在生产环境中，在短週期时间内保持高吞吐率 (UPH) 至关重要。镭射二极体通常在很窄的光谱范围内拥有高功率，可确保在短积分时间内适当调制探测器。因此，要以高输送量对相关读数进行週期精准捕获，需要具有尽可能较短测量时间的测量系统。

需要精密电子设备，尤其是用于测定超短的高频脉冲特性，因为短脉冲必须在 10 A 及以上的电流下产生，並且测量资料必须以几千兆赫的取样速率进行采集。

系统配置

Instrument Systems 用于在生产中快速精确地测量镭射二极体/VCSEL 的辐射通量的一体化系统通常包含以下部件：

部件	描述
阵列光谱仪	- 具有高达 0.2 nm 光谱解析度的高解析度 CAS 140CT-HR，作为配有带制冷的 CCD 探测器的高端测量解决方案，可实现较高稳定性，例如在参考系统中。 - 具有高达 0.12 nm 光谱解析度的高解析度 CAS 120B-HR，作为 CAS 140CT-HR 的高性能但经济高效的替代产品。
积分球	- 具有小内径的 ISP 75 和 ISP 100。外形小巧，特別适合安装在处理器和探测器系统中。 - 可选：ISP 100，具有用于连接光谱仪和光电二极体（用于测定镭射二极体的功率或脉冲波形）的可变埠配置，以及以低至 1 ns 脉冲持续时间检测较短脉冲的功能（系统 PVT 200）。 - 替代产品：ISP 150L，内径为 150 mm，直径为 50 mm 的测量埠可用于测量较大镭射模组/阵列，带有借助集成式辅助光源实现的自吸收修正功能。
校准	可追溯至国家标准 PTB 或 NIST 的校准。
电子设备	用于以高电流（高达 15A）生成短脉冲 (≥ 1 ns) 的驱动电子设备。用于快速光电二极体信号检测的采样电子设备（或示波器）。
软体	CAS.dll 和 SDK，用于集成到客户的生产流程中。
IR 参考 LED （可选）	具有 860 nm 和 950 nm 的参考 LED ACS-570-15、570-17。当与内部 PSU 10 电源结合使用时，可形成一个高度稳定的参考系统。